该晶圆研发厂座落在华中城市,一般生产销售的8寸大光电器件晶圆,日访问量生活污水直接排放口量约800吨。因为生产销售的方式中实用大量氢佛酸参与晶圆蚀刻,促使生活污水内氟化物密度多达200-300mg/L,远超发达国家直接排放口标淮(10mg/L下)。
废液化学物质及因素
废气主耍出自于3个步骤:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高盐浓度氟化物(HF)、硝酸铵及大量巨资属
化学反应设备镜面抛光(CMP)废气
:含纳米级级硅顆粒、有机质络合剂
机器设备洗掉废水处理
:含异丙醇、氧化还原电位等巧妙物
加工处理生产流程图图流程图
利用"化工结晶物中+混凝土结晶物中+深浅滤水"四级进行处理体系:
特一级治疗
:添加氯化钙和氢空气氧化钙,建成氟化钙析出,氟化物避开率达85%
一级加工
:加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),取除氢氧化铁态废弃物物
三类正确处理
:能够 多媒质过滤装置器和可溶性炭溶解,喷水氟化物溶度增强在8mg/L下面
最为关键的产品包含:pH半自动调控系统、斜管积累池、板框刮刀离心机(工业废水脱干)。
最中结果
好项目运动2年检测资料显现:
氟化物最低值盐浓度:7.2mg/L(少于欧洲国家标)
COD取除率:92%
工业废水含水分率:≤65%
年回收并氟化钙副好产品约150吨,改变能源化巧用